系列设备均配有漂洗、双面刷洗、兆声清洗、N2吹干、高速甩干功能
PLC系统,触摸屏控制,一键式自动完成刷洗清洗加工,其中连线式设备配有全自动上下片系统,cassette to cassette使用更加方便
通过更换夹具,可兼容4-12英寸晶圆
尽量减少洁净间的占地面积
规格/型号 | TSC-100 | TSC-300S | TSC-200L |
工艺 | 单面刷洗 | 双面刷洗 | 双面刷洗 |
清洗工位 | 单腔单工位 | 单腔单工位 | 连线式6工位 |
上下片 | 手动 | 手动 | 全自动 |
机械手 | 无 | 无 | 双臂机械手 |
晶圆尺寸 | 4-6 inch | 4-12 inch | 6-8 inch |
漂洗(预清洗) | DIW冲洗 | DIW冲洗 | DIW冲洗 |
刷洗机构 | 1个PVA刷,单面刷洗 | 2个PVA刷,双面刷洗 | 2个PVA刷,双面刷洗 |
兆声清洗 | 可选 | 可选 | 可选 |
氮气吹干 | 有 | 有 | 有 |