卧式减薄机

卧式减薄机是一款性价比很高的小型高精度研削设备,采用砂轮轴横卧的安装方式,手动装片,通过砂轮进给控制研削量。设备工作台可根据客户需求进行定制化,应用广泛。

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产品特点

  • 功能全面

    具有多段研削程序、超负载等待等功能,满足各类工艺需求

  • 操作简便

    PC工控机系统,触摸屏操控,除手动上、下片外一键式自动完成减薄加工

  • 兼容性好

    可根据客户需求定制化各类工作台,满足各类半导体材料的研削薄化工艺

  • 性价比高

    保证加工成本合理优化

性能参数

项目 IHG-2010
最大晶圆尺寸 6英寸
砂轮规格 Ø200(OD)mm
砂轮轴转速范围 0~3000 RPM
工作台转速 0~400 RPM
Z轴行程 70mm
Z轴进给速度 0.1~1000 um /sec 可选配最小 0.01um/sec
SECE/GEM、MES系统 可选配

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