中国半导体减薄机、半导体抛光机设备的发展历程可以追溯到上世纪80年代初。

1980年代初期，中国开始了半导体工业的发展，但当时国内对减薄机、半导体抛光机设备的依赖主要来源于进口，国内自主研发能力较弱。

1990年代，中国的半导体工业逐渐发展起来，国内开始意识到自主研发和制造半导体减薄机、半导体抛光机设备的重要性。当时，一些国内企业开始尝试研发半导体减薄机、半导体抛光机设备，但技术水平和产品质量仍然较低。

2000年代初，中国的半导体工业进一步发展，国内企业开始加大对减薄机、半导体抛光机设备的研发投入。一些企业开始与国外企业进行技术合作，引进先进的减薄机、半导体抛光机设备技术。同时，国内一些高校和科研机构也开始进行半导体减薄机、半导体抛光机设备的研究和开发。

2010年代，中国的半导体工业蓬勃发展，国内企业在减薄机、半导体抛光机设备领域取得了一定的技术突破。一些企业开始推出具有自主知识产权的减薄机、半导体抛光机设备，并在国内市场上取得了一定的份额。同时，一些企业也开始向海外市场拓展，与国外企业进行竞争。

目前，中国的半导体减薄机、半导体抛光机设备产业正在逐步成熟和壮大。国内企业在技术研发、产品质量和市场份额等方面都取得了一定的进展。