系列设备均配有漂洗、双面刷洗、兆声清洗、N2吹干、高速甩干功能
PLC系统，触摸屏控制，一键式自动完成刷洗清洗加工，其中连线式设备配有全自动上下片系统，cassette to cassette使用更加方便
通过更换夹具，可兼容4-12英寸晶圆
尽量减少洁净间的占地面积
| 规格/型号 | TSC-100 | TSC-300S | TSC-200L |
| 工艺 | 单面刷洗 | 双面刷洗 | 双面刷洗 |
| 清洗工位 | 单腔单工位 | 单腔单工位 | 连线式6工位 |
| 上下片 | 手动 | 手动 | 全自动 |
| 机械手 | 无 | 无 | 双臂机械手 |
| 晶圆尺寸 | 4-6 inch | 4-12 inch | 6-8 inch |
| 漂洗（预清洗） | DIW冲洗 | DIW冲洗 | DIW冲洗 |
| 刷洗机构 | 1个PVA刷，单面刷洗 | 2个PVA刷，双面刷洗 | 2个PVA刷，双面刷洗 |
| 兆声清洗 | 可选 | 可选 | 可选 |
| 氮气吹干 | 有 | 有 | 有 |
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