TAP-400/600/450A/500精密研磨抛光机

TAP-400/600/450A/500精密研磨抛光机系列设备是两轴高精密单面抛光设备,抛光头可自转、可摆动,可实现高压力、高转速抛光,可以单片抛光,也可以多片抛光,满足各种材料的高精密抛光要求。

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产品特点

  • 加压方式

    加压方式

    多孔陶瓷吸盘固定晶圆,气囊加压

  • 驱动形式

    驱动形式

    抛光压头自转&摆动驱动系统

  • 恒温系统

    恒温系统

    配置红外测温系统,保证抛光盘温度恒定

  • 兼容性好

    兼容性好

    可依据不同种类晶圆配置相应抛光压头

  • 加工便捷

    加工便捷

    可配置半自动loading上下片系统

  • 压力校准

    压力校准

    精密称重传感器监测下压压力

  • 配置丰富

    配置丰富

    双轴加工,配置抛光垫修整器

性能参数

规格/型号 TAP-400 TAP-500 TAP-450A TAP-600
抛光盘规格 OD400mm OD520mm OD450mm OD630mm
抛光头数量 2 2 2 2
抛光盘转速 0~90 RPM 0~90 RPM 0~90 RPM 0~90 RPM
抛光头转速 0~90 RPM 0~90 RPM 0~90 RPM 0~90 RPM
抛光头压力 10~100kgf可调 10~100kgf可调 10~100kgf可调 10~150kgf可调
抛光头摆动 摆幅摆速可调 摆幅摆速可调 摆幅摆速可调 摆幅摆速可调
半自动上下片 可选配 可选配 可选配
抛光头规格 Max6寸载片 Max6寸铁环 Max6寸载片/4寸铁环 Max8寸铁环
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