多孔陶瓷吸盘固定晶圆,气囊加压
抛光压头自转&摆动驱动系统
配置红外测温系统,保证抛光盘温度恒定
可依据不同种类晶圆配置相应抛光压头
可配置半自动loading上下片系统
精密称重传感器监测下压压力
双轴加工,配置抛光垫修整器
规格/型号 | TAP-400 | TAP-500 | TAP-450A | TAP-600 |
抛光盘规格 | OD400mm | OD520mm | OD450mm | OD630mm |
抛光头数量 | 2 | 2 | 2 | 2 |
抛光盘转速 | 0~90 RPM | 0~90 RPM | 0~90 RPM | 0~90 RPM |
抛光头转速 | 0~90 RPM | 0~90 RPM | 0~90 RPM | 0~90 RPM |
抛光头压力 | 10~100kgf可调 | 10~100kgf可调 | 10~100kgf可调 | 10~150kgf可调 |
抛光头摆动 | 摆幅摆速可调 | 摆幅摆速可调 | 摆幅摆速可调 | 摆幅摆速可调 |
半自动上下片 | 无 | 可选配 | 可选配 | 可选配 |
抛光头规格 | Max6寸载片 | Max6寸铁环 | Max6寸载片/4寸铁环 | Max8寸铁环 |