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单面抛光机
TSP-380
该设备是桌面式的高精度单面抛光设备，设备占地小，操作简单，可搭配铜盘、锡盘、玻璃盘、不锈钢盘等，配合不同类型的抛光液，适用于各种半导体材料的抛光。
抛光盘规格
OD380 mm
抛光头数量
2个
抛光头加压方式
砝码或真空抛光压头
产品咨询
Features
产品特点
加压方式
真空压头/砝码加压
驱动形式
抛光压头自转&摆动驱动系统
工艺优化
抛光压头面型可调整
供液方式
可调流量蠕动泵供液&真空喷射供液
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