单面抛光机_TAP-400/450/500/600 series_品牌厂家-特思迪半导体设备公司

单面抛光机

TAP-400/450/500/600 series

该系列抛光机是双轴高精密单面抛光设备，设备可依据不同晶圆配置相应抛光头，真空吸附固定晶圆，气囊加压，抛光压头自转并兼具摆动功能，适用于各种半导体材料的抛光。

TAP-400 TAP-450 TAP-500 TAP-600

抛光盘规格

OD400 mm

抛光头数量

2个

抛光头摆动

摆幅摆速可调

Features

产品特点

驱动形式

抛光压头自转&摆动驱动系统

加压方式

真空吸附固定晶圆气囊加压

恒温控制

抛光盘温度控制系统

配置丰富

双轴加工配置抛光垫修整器

兼容性好

可依据不同种类晶圆配置相应抛光压头

压力校准

精密称重传感器监测下压压力

加工便捷

可配置半自动loading上下片系统