单面抛光机-TSP-400/450 series_品牌厂家-特思迪半导体设备公司

单面抛光机

TSP-400/450 series

该系列抛光机是落地式高精度单面抛光设备，配置抛光盘冷却和温度监控系统，保证抛光过程恒温，设备操作简单、配置丰富，可搭配铜盘、锡盘、玻璃盘、不锈钢盘等（可选配车刀系统），配合不同类型的抛光液，适用于各种半导体材料的抛光。

TSP-400 TSP-450

抛光盘规格

OD400 mm

抛光头数量

2个

抛光头加压方式

砝码或真空抛光压头

抛光头摆动功能

具备

Features

产品特点

加压方式

真空压头/砝码加压

驱动形式

抛光压头自转&摆动驱动系统

恒温控制

抛光盘温度控制系统

工艺优化

抛光压头面型可调整

供液方式

可调流量蠕动泵供液&真空喷射供液