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全自动晶圆刷洗机
TSC-150C/200C/200L
该系列设备是晶圆抛光后的专用清洗设备，集成全自动上下料系统、双面PVA刷洗、兆声清洗、甩干&N2吹干等单元，集成度高，湿/干进干出，适用于各种半导体晶圆抛光后的清洗。
TSC-150C
TSC-200C
TSC-200L
清洗工位
皮带传送式6工位
晶圆尺寸
3-6英寸
刷洗工位*2
2个PVA刷，双面刷洗
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Features
产品特点
清洗工艺
预清洗/双面刷洗/漂洗/兆声/吹干/甩干
刷子类型
PVA 刷 双面刷洗
PLC控制系统
触摸屏操作
全自动系统
皮带传动 Cassette in/out 干进干出
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