半自动液体蜡贴片机
TLB-360S/485S
该系列设备是半自动液体蜡贴片机,采用手动上片、手动取放搬运陶瓷盘方式,自动完成滴蜡、甩蜡、烘烤、贴片工序,采用气囊压片,贴蜡效果好,精度高,适用于各种半导体衬底材料抛光前的贴片。
  • 晶圆尺寸

    2-6英寸

  • 陶瓷盘规格

    OD360 mm

  • 压片装置

    气囊+气缸二段压片

  • Features
    产品特点
    功能全面
    气囊压片 贴蜡精度高
    贴蜡工艺
    滴蜡-甩蜡-烘烤-贴片-加压-冷却
    操作简便
    滴蜡、甩蜡、烘烤、压片均为自动作
    配置丰富
    配置冷水机 提升贴蜡效率
    兼容性好
    可适配360/485mm陶瓷盘 可在程序中切换
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