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全自动液体蜡贴片机
TLB-360F/485F/576F
该系列设备是全自动液体蜡贴片机，采用机械手全自动上片，配有上下料仓全自动搬运流转陶瓷盘，自动完成晶圆的DIW清洗、滴蜡、甩蜡、烘烤、贴片工序，自动气囊压片，贴蜡效果好，精度高，适用于各种半导体衬底材料抛光前的全自动贴片。
TLB-360F
TLB-485F
TLB-576F
晶圆尺寸
2-6英寸
陶瓷盘规格
OD360 mm
清洗工位
纯水+PVA刷
压片装置
气囊+气缸二段压片
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Features
产品特点
功能全面
气缸+气囊二级压片 贴蜡精度高
贴蜡工艺
滴蜡-甩蜡-烘烤-贴片-加压-冷却
全自动系统
机械手自动传片 具备晶圆定位功能
操作简便
滴蜡、甩蜡、烘烤、压片均为自动作业
兼容性好
可适配360/485/576mm陶瓷盘 可在程序中切换
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