特思迪减薄机有多个型号,各自具有不同的特点,以下介绍两种典型型号及其特点:
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全自动减薄机TFG-2200/3200:
- 适用范围:这款设备适用于6/8英寸晶圆研削。
- 设备配置:采用双主轴三工位设计,搭配高精度主轴,并配置了机械手上下片,实现了高度自动化。
- 功能特点:集成自动对中、传送定位、清洗干燥功能,实现干进干出的全自动运行。同时,设备具有自动测厚、多段研削、超负载等待等功能,加工精度高。
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其他型号(包括半自动或全自动减薄机):
- 高精度:采用优良的研削技术和精密的控制系统,确保研削过程的高精度和一致性。厚度在线测量重复精度可达±0.001mm,满足高精度加工需求。
- 全自动化:配备全自动上、下片系统,实现晶圆从取片到加工完成的全自动化流程,大幅提高了生产效率并减少了人工操作的误差。
- 兼容性好:可磨削各类半导体材料,并适应不同尺寸的晶圆减薄,如2-12英寸晶圆,显示出良好的兼容性和灵活性。
- 功能全面:除了基本的研削功能外,还具备自动厚度测量、多段研削程序、超负载等待等多种功能,可根据不同工艺需求进行灵活设置和调整。
特思迪减薄机以其高精度、全自动化、良好的兼容性和全面的功能特点,在半导体及精密制造行业中赢得了广泛的认可和应用。