国内主要的CMP设备公司有很多,包括北京特思迪半导体设备有限公司、华海清科股份有限公司、北京烁科精微电子装备有限公司和杭州众硅电子科技有限公司等,下面我们着重介绍下北京特思迪cmp设备厂商。
北京特思迪半导体设备有限公司是一家专业的 CMP 设备厂商。以下是其在 CMP 设备方面的具体情况:
设备产品
- TPC-2110 全自动 CMP 抛光设备:采用先进的抛光技术和自动化控制系统,可实现高精度、高效率的化学机械抛光。适用于半导体晶圆、芯片等的表面平坦化处理,能有效去除表面的微小瑕疵和粗糙度,提高芯片的性能和可靠性。
- CMP 后清洗机:与 CMP 抛光设备配套使用,可对抛光后的晶圆进行清洗,去除表面残留的抛光液、颗粒等杂质,确保晶圆表面的清洁度,为后续的半导体制造工艺提供良好的基础。
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技术优势
- 自主研发能力强:公司在北京和韩国均设有研发中心,每年研发投入占比超过 15%,拥有一支经验丰富的研发团队,核心成员均有国外半导体设备厂家工作多年的经验,目前已获得发明及实用新型专利 60 余项,在 CMP 技术方面具有深厚的技术积累和创新能力1。
- 工艺指标先进:特思迪的 CMP 设备在平整度、粗糙度、去除速率等关键工艺指标上达到国际先进水平,能够满足客户对高端半导体芯片制造的需求,帮助客户提高产品质量和生产效率。
- 系统解决方案完善:不仅提供 CMP 设备,还能为客户提供从工艺设计、设备选型、安装调试到售后维护的一站式系统解决方案,根据客户的具体需求和工艺要求,定制个性化的解决方案,确保设备在客户生产线上的稳定运行。
市场应用
- 覆盖多个领域:其 CMP 设备广泛应用于半导体衬底材料、半导体器件、先进封装、MEMS 等领域,为华为、天科合达、天岳、启迪半导体、泰科天润、士兰微、中电科 13 所、中电科 55 所、中科院半导体所、中科院物理所、中科院西安光机所、西安微电子所、镓特、吴越半导体等众多企业提供服务,覆盖第二、三代半导体材料和器件1。
- 国内市场领先:在化合物半导体领域国内市场占有率第一,是国内唯一一家规模化量产化合物半导体专用减薄、抛光、CMP 装备的企业,在国内半导体设备市场中占据重要地位,为推动我国半导体产业的国产化进程做出了重要贡献45。