TSP-400/450

该系列设备是落地式的高精度单面抛光设备,可搭配铜盘、锡盘、玻璃盘、不锈钢盘等,配合不同类型的抛光液,适用于各种半导体材料的高精密抛光。

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产品特点

  • 铸铁机身,设备稳定性高

  • 可配置硬轨液压车刀系统

  • 抛光盘温度监控功能

  • 抛光头具有自转和摆动动能

性能参数

规格/型号 TSP-400 TSP-450
抛光盘规格 400mm 450mm
陶瓷盘规格 139mm 159mm
抛光头数量 2 2
抛光盘转速范围 0~90 RPM 0~90 RPM
抛光头转速范围 0~60RPM 0~60RPM
设备尺寸 1350X1000X2100 mm 1350X1000X2100 mm
设备重量 1180kg 1180kg
硬轨液压车刀系统 可选配 可选配
耐腐蚀涂层 可选配 可选配

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