TSP-380

本机是一款操作简单的桌上型单面抛光设备,可搭配铜盘、锡盘、玻璃盘、不锈钢盘等,配合不同类型的抛光液,适用于各种半导体材料的研磨抛光,满足科研院校、企业的研发及小批量生产需求。

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产品特点

  • 抛光头自转功能

  • 抛光头摆动功能

  • 可选择真空压头或砝码压块

  • 占用空间小

性能参数

规格/型号 TSP-380
抛光盘规格 380mm
陶瓷盘规格 139mm
抛光头数量 2
抛光盘转速范围 0~ 70RPM
摆动幅度 ±5mm

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