气囊压片,贴蜡精度高
PLC触摸屏控制,手动上片后,一键式自动完成贴片工作
兼容2~6英寸晶片,可在程序中切换
尽量减少洁净间的占地面积
项目 | TLB-360A | TLB-485A |
晶圆尺寸 | 2-6 inch | 4-8 inch |
陶瓷盘规格 | OD360 mm | OD485 mm |
上片方式 | 全自动 | 全自动 |
甩蜡转速 | 0-3000 RPM | 0-3000 RPM |
烘烤温度 | Max350℃ | Max350℃ |
压片装置 | 气囊+气缸二段压片 | 气囊+气缸二段压片 |
加热温度 | Max250℃ | Max250℃ |
陶瓷盘冷却系统 | 有 | 有 |